المقرر باللغة العربية: مقدمة إلي الأنطمة الميكروالكتروميكانيكية

المقرر باللغة الإنجليزية: Introductions to Microelectromechanical Systems

كود المقرر: PDE 431

الكلية: كلية الهندسة

اللائحة الدراسية: اللائحة الداخلية لكلية الهندسة بنظام الساعات المعتمدة للبرامج المتخصصة - حديث

القسم: برنامج هندسة الميكاترونيات

إجبارى/إختيارى: إختيارى

حالة المقرر: مادة نجاح ورسوب و تحسب في المجموع

نوع المقرر: متطلبات قسم

محتوى المقرر: مقدمة تاريخ الانظمة الميكروالكتروميكانيكية – سوق الانظمة الميكروالكتروميكانيكية – نظرة عامة علي عمليات الانظمة الميكروالكتروميكانيكية – خصائص السيليكون – عينة من عمليات الانظمة الميكروالكتروميكانيكية. اساسيات تقنية الميكرو التعريفات والمصطلحات الفنية – عينة من العمليات – الطباعة الحجرية والحفر بتاثير الحوامض – عمليات التشغيل في مقياس الميكرو عمليات الانتقاص (الحفر الجاف والرطب بتاثير الحوامض) – عمليات الاضافة – التبخير – الطلاء بالرشرشة الكاثودية والنمو البلوري – مقدمة في برامج التصميم الاحترافية للانظمة الميكروالكتروميكانيكية باستخدام الحاسب.

الساعات التدريسية: 4

الساعات المعتمدة: 3